1、密封：防止大气进入排气阀，有相对运动零件间的间隙密封（转子与定子、旋片与转子槽等）。
2、润滑：相对运动件间的润滑，降低磨损。
3、冷却：油在泵内与油箱间循环，散热、冷却。
4、携裹：将磨损产生的尘粒或其它颗粒挟裹在油中，减小磨损伤害。
5、保护：形成保护性油膜，避免水及化学蒸汽凝结物腐蚀泵内部件。
真空泵油的性能要求：
1、高温下饱和蒸汽压要低，易挥发成分要少。
2、的水含量和吸水性。
3、要有一定粘度，且随温度变化小（粘度温升曲线平滑）。
4、润滑性能好，机械应力下具有良好的抗裂解性。
5、抗腐蚀、抗氧化、化学性能稳定。